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作为全球唯一能生产EUV光刻机的公司，荷兰ASML公司去年出售了26台EUV光刻机，主要用于台积电、三星的7nm及今年开始量产的5nm工艺，预计今年出货35台EUV光刻机。

目前ASML出货的光刻机主要是NXE:3400B及改进型的NXE:3400C，两者基本结构相同，但NXE:3400C采用模块化设计，维护更加便捷，平均维修时间将从48小时缩短到8-10小时，支持7nm、5nm。

此外，NXE:3400C的产能也从之前的125WPH（每小时处理晶圆数）提升到了175WPH。

不论NXE:3400B还是NXE:3400C，目前的EUV光刻机还是第一代，主要特点是物镜系统的NA（数值孔径）为0.33。

根据光刻机的分辨率公式，NA数字越大，光刻机精度还会更高，ASML现在还研发NA 0.55的新一代EUV光刻机EXE:5000系列，主要合作伙伴是卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心。

EXE:5000系列的下一代光刻机主要面向后3nm时代，目前三星、台积电公布的制程工艺路线图也就到3nm，2nm甚至1nm工艺都还在构想中，要想量产就需要新的制造装备，新一代EUV光刻机是重中之重。

根据ASML的信息，EXE:5000系列光刻机最快在2021年问世，不过首发的还是样机，真正用于生产还得等几年，乐观说法是2023年或者2024年才有可能看到NA 0.55的EXE:5000系列光刻机上市。

abc1b

科技的进步是一日千里，想当年刚用PC机的时侯，都是泪呀

271800144

个人看法7nm极紫外光就是硅半导体制程的极限,再下去只能走换软件数据逻辑结构走堆核路线,或者换材料走石墨烯路线,至于量子计算,可以进行通用计算的应用天使粒子马约拉纳费米子效应的量子计算机影子都没看到,还很遥远.
所以你这帖子……
另外啊，纳1米(符号为nm)，也称毫微米，就是十亿分之一米，即百万分之一毫米。与厘米、分米和米一样，纳米也是长度的度量单位。1纳米相当于4倍原子大小，万分之一头发粗细——形象地讲，一纳米的物体放到乒乓球上，就像一个乒乓球放在地球上一般。
以现在人类的水准……你确定？？？？？？？？？？？1纳米？？？？？？？？

sexsex001

1nm应该不大可能吧，量子隧穿效应在1nm应该出现了

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如果1纳米的技术出现了是不是手机可以四五天再充电一次呢?现在手机的速度已经很快了,应该多出一些低功耗高效率的CPU才是王道

openshaoye

1纳米感觉还很遥远，就算是研究出来想要民用也要等很长时间，二战爆发才有了科技大进步，现在想要大规模进步很难了，不过宁可不进步也不希望战争